Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"Kruglenko M. P."'
Publikováno v:
Tekhnologiya i Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature, Iss 6, Pp 46-49 (2009)
Results of technological researches of plasmachemical reactor (PCR) for etching of silicon plate edges of photo-electric converters are described. Dependences of silicon etching speed on a discharge current, magnetic field intensity, quantity of the
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/816723ad18d748549bd0d7d22465256b
Publikováno v:
Scopus-Elsevier
The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic fields in PCR, as well as, o
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::d3400c7e31e94e47fb09372d77f0255b
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82118
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82118
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.