Zobrazeno 1 - 10
of 15
pro vyhledávání: '"Kou Wada"'
Autor:
Sadao Tsuboi, Akira Takeda, Takahiko Murakami, Takashi Sakai, Masanori Utaka, Norihisa Imajo, Kiichiro Kohra, Kou Wada, Yukihiro Ooga
Publikováno v:
Bulletin of the Chemical Society of Japan. 65:631-638
The bakers’ yeast reduction of a series of 2-oxoalkyl arenecarboxylates [R(C=O)CH2O(C=O)C6H4-p-X] (1a–f) (R = CH3 to n-C6H13; X = H) and the phenyl-modified derivatives (1g–l) (R = n-C5H11, X = OH, CH3, F, Cl, Br, or I) as well as 1-chloro-2-al
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 8:769-774
An accel‐mode einzel lens with through‐lens energy analyzer is developed to apply a purely electrostatic optical column in low‐voltage electron beam testers. A purely electrostatic optical column, enabling use of the accel‐mode einzel lens as
Publikováno v:
SAE Technical Paper Series.
Publikováno v:
DAC
An electron beam exposure system used for LSI mask making or direct writing for ASICs is considered. In CAD data/electron beam exposure-data conversion, a new algorithm for treating overlapping cells hierarchically is proposed. Geometric transformati
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 8:1152
A new objective lens structure is proposed for observing the bottom of submicron trenches with a low‐voltage scanning electron microscope. By placing a magnetic coil close to the specimen, and using it to apply a strong magnetic field to the specim
Autor:
Akira Ishii, Kou Wada
Publikováno v:
Journal of the Society of Mechanical Engineers. 89:1207-1210
Publikováno v:
Electronics and Communications in Japan (Part II: Electronics). 68:86-93
We propose a process evaluation method using channel-doped MOS devices and process/device simulators for quantitative evaluation of contamination and surface condition. The amount of contamination is determined by comparison of the measured and simul
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.