Zobrazeno 1 - 10
of 17
pro vyhledávání: '"Konno Nobuaki"'
Publikováno v:
IEEE Sensors Journal. 13:2899-2905
This paper reports the doping properties of polycrystalline silicon (poly-Si) deposited by atmospheric pressure plasma enhanced chemical transport and its application to a piezo-resistive pressure sensor. The doping is done by the chemical transport
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::98acc559ff524745ec14042a23870729
https://doi.org/10.1109/jsen.2013.2248145
https://doi.org/10.1109/jsen.2013.2248145
Publikováno v:
Electronics and Communications in Japan. 96:26-31
SUMMARY The characteristics of silicon films deposited at 700 Torr by plasma-enhanced chemical transport were investigated. The Si films were polycrystalline and the Hall mobility was 1.9 cm2/Vs. These results indicate that our Si films are comparabl
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ce5a3bb4c3f88f647d54e104a07402ab
https://doi.org/10.1002/ecj.11467
https://doi.org/10.1002/ecj.11467
Publikováno v:
Microsystem Technologies. 19:829-835
We report on a local ambient gas control technologies for atmospheric pressure plasma process using our new curtain gas structure. First, local ambient gas control with the curtain gas structure was investigated by computational fluid dynamic code. A
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9a5c6a74c3fae5c82729440f4ef97d9c
https://doi.org/10.1007/s00542-013-1761-8
https://doi.org/10.1007/s00542-013-1761-8
Publikováno v:
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 132:48-52
The characteristics of silicon films deposited at 700 Torr by plasma enhanced chemical transport were investigated. The Si films were poly-crystalline, and the hall mobility was 1.9 cm2/Vs. These results indicate that our Si films are comparable with
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4451577e10e3a8f3bc9d5dcc3f173c5b
https://doi.org/10.1541/ieejsmas.132.48
https://doi.org/10.1541/ieejsmas.132.48
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Japanese Journal of Applied Physics. 55:07LE06
Open air silicon deposition was performed by combining silane-free atmospheric pressure plasma-enhanced chemical transport and a newly developed local ambient gas control technology. The effect of air contamination on silicon deposition was investiga
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e09424e43385dbd82073c2f95b114743
https://doi.org/10.7567/jjap.55.07le06
https://doi.org/10.7567/jjap.55.07le06
Publikováno v:
2012 IEEE Sensors.
We investigated the doping properties of polycrystalline silicon (poly-Si) deposited by atmospheric pressure plasma enhanced chemical transport and fabricated a strain gauge with the doped poly-Si film. The doping was done by the chemical transport o
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d7edb6d5252ae46668bfc75472fd1409
https://doi.org/10.1109/icsens.2012.6411419
https://doi.org/10.1109/icsens.2012.6411419
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.