Zobrazeno 1 - 1
of 1
pro vyhledávání: '"Kondratiev, N. L."'
Low-temperature silicon amorphous and crystalline film formation by laser chemical vapor deposition.
Autor:
Dar'jushkin, A. U., Kondratiev, N. L., Korovin, S. B., Orlov, A. N., Prokhorov, Alexander M., Pustovoy, Vladimir I., Ulitina, J. I.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1996, Issue 1, p188-198, 11p