Zobrazeno 1 - 10
of 15
pro vyhledávání: '"Koh, Hui Peng"'
Autor:
Rachel Ren, Quek Shyue Fong, Amit Siany, Sern Loong Ng, Shimon Levi, Chan Sun Sun, Yasri Yudhistira, Koh Hui Peng
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
In this paper, we study the feasibility of using a new system to set up offline critical dimension scanning electron microscope (CDSEM) recipes for both litho and etch processes monitoring in a foundry environment before first silicon. We will automa
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b608cf605051f0479b1b530569996f6e
https://doi.org/10.1117/12.712534
https://doi.org/10.1117/12.712534
Autor:
Koh, Hui Peng.
This project aims to elucidate factors contributing to the pattern roughness for sub-180nm gate patterning from the aspects of material properties, nature of the aerial image quality and processing histories. Master of Engineering (MSE)
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1392::4487b08923f1127039c1dcc93321d482
http://hdl.handle.net/10356/5066
http://hdl.handle.net/10356/5066
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2003, Issue 1, p1211-1218, 8p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2000 Part 2, Issue 1, p240-251, 12p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Wallow, Thomas I., Hohle, Christoph K., Mehta, Sohan S., Ganta, Lakshmi K., Chauhan, Vikrant, Wu, Yixu, Singh, Sunil, Ann, Chia, Subramany, Lokesh, Higgins, Craig, Erenturk, Burcin, Srivastava, Ravi, Singh, Paramjit, Koh, Hui Peng, Cho, David
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2015, Vol. 9425 Issue: 1 p94250B-94250B-11, 9330762p
Autor:
Ackmann, Paul W., Hayashi, Naoya, Cho, Chan Seob, Mungmode, Ashish, Taylor, Ron, Cho, David, Koh, Hui Peng
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; October 2014, Vol. 9235 Issue: 1 p92351I-92351I-8, 831168p
Autor:
Wood, Obert R., Panning, Eric M., Higgins, Craig, Verduijn, Erik, Hu, Xiang, Wang, Liang, Singh, Mandeep, Wandell, Jerome, Mehta, Sohan, Fakhoury, Jean Raymond, Zaleski, Mark, Zou, Yi, Koh, Hui Peng, Mangat, Pawitter
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; April 2014, Vol. 9048 Issue: 1 p90481Q-90481Q-9, 814339p
Autor:
Cain, Jason P., Sanchez, Martha I., Subramany, Lokesh, Hsieh, Michael, Li, Chen, Koh, Hui Peng, Cho, David, Golotsvan, Anna, Ramanathan, Vidya, Karur Shanmugam, Ramkumar, Yap, Lipkong
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; April 2014, Vol. 9050 Issue: 1 p90502Q-90502Q-8, 814527p