Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Kodera, Itsuo"'
Publikováno v:
In Cryogenics 2002 42(3):175-181
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Itoga, Kenji, Sumitani, Hiroaki, Watanabe, Hiroshi, Kumada, Teruhiko, Kodera, Itsuo, Satoh, Shinichi, Ogushi, Nobuaki, Oishi, Satoshi, Edo, Ryou, Yamamoto, Takeshi, Watanabe, Yutaka
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2000, Vol. 18 Issue 2, p774-779, 6p