Výsledky vyhledávání - "Kobaltdisilizid"

Dissertation/ Thesis

Entwicklung einer Technologie zur Herstellung eines neuartigen Substrates mit strukturierten vergrabenen Kobaltdisilizidschichten für die gemeinsame Integration bipolarer und unipolarer Bauteile auf einem SOI-Wafer

Autor: Zimmermann, Sven

Die Arbeit beschreibt die Anfertigung eines speziellen SOI-Substrates, bei dem eine strukturierte Kobaltdisilizidschicht zwischen dem vergrabenen Oxid und der Silizium- Bauelementeschicht angeordnet ist. Dieses soll für die gemeinsame Integration bi

Externí odkaz: https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A18808
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18808/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18808/attachment/ATT-1/

Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání