Zobrazeno 1 - 10
of 129
pro vyhledávání: '"Klimpel, T."'
Publikováno v:
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXII, 10585
Charging of insulators is a complex phenomenon to simulate since the accuracy of the simulations is very sensitive to the interaction of electrons with matter and electric fields. In this study, we report model improvements for a previously developed
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::f4817e9fd2552e9e399ea4dfb18ced31
https://doi.org/10.1117/12.2297478
https://doi.org/10.1117/12.2297478
Publikováno v:
In Tribology Series 2001 39:551-562
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; 2018, Vol. 10585, p1-16, 16p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2009 Part 2, Issue 1, p72740M-72740M-12, 12p
Autor:
Schmoeller, T., Klimpel, T., Kim, I., Lorusso, G. F., Myers, A., Jonckheere, R., Goethals, A. M., Ronse, K.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2008, Issue 1, p69211B-69211B-8, 8p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2016, Vol. 9778 Issue: 1 p97780C-97780C-11, 9680232p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.