Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Kinion, D. E."'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Smith, N. S., Skoczylas, W. P., Kellogg, S. M., Kinion, D. E., Tesch, P. P., Sutherland, O., Aanesland, A., Boswell, R. W.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; Nov/Dec2006, Vol. 24 Issue 6, p2902-2906, 5p, 3 Graphs
