Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Kim, Unggi"'
Bonding structure and dry etching characteristics in amorphous B–C–N films for hardmask applications
Autor:
Kim, Hongik, Kim, Unggi, Hong, Deokgi, Kim, Sungtae, Han, Seungwu, Joo, Young-Chang, Lee, So-Yeon
Publikováno v:
In Carbon June 2024 226
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.