Zobrazeno 1 - 10
of 198
pro vyhledávání: '"Kieninger J"'
Publikováno v:
In Procedia Engineering 2015 120:1145-1148
Publikováno v:
In Procedia Engineering 2015 120:961-964
Publikováno v:
In Procedia Engineering 2015 120:916-919
Publikováno v:
In Procedia Engineering 2015 120:468-471
Publikováno v:
In Procedia Engineering 2015 120:26-30
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Partel, S., Mayer, M., Hudek, P., Dinçer, C., Kieninger, J., Urban, G.A., Motzek, K., Matay, L.
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering September 2012 97:235-240
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Ma, X, Kato, Y, van Kempen, F.C.M., Hirai, Y, Tsuchiya, T, van Keulen, A., Tabata, O, Urban, G., Wollenstein, J., Kieninger, J.
Publikováno v:
Procedia Engineering-Eurosensors 2015, 120
We report a multiple patterning approach utilizing digital-micromirror-device (DMD)-based grayscale lithography, providing a solution to improve fabrication accuracy for entire target three-dimensional structure. Because DMD-based lithography system
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::b140f5b3b807d7551bb4e0c07d4c5951
https://doi.org/10.1016/j.proeng.2015.08.778
https://doi.org/10.1016/j.proeng.2015.08.778