Výsledky vyhledávání - "Kessels, Roland"

Report

Deposition of highly-crystalline AlScN thin films using synchronized HiPIMS -- from combinatorial screening to piezoelectric devices

Autor: Patidar, Jyotish, Thorwarth, Kerstin, Schmitz-Kempen, Thorsten, Kessels, Roland, Siol, Sebastian

Fueled by the 5G revolution, the demand for advanced radio frequency micro-electromechanical systems (MEMS) based on AlScN is growing rapidly. However, synthesizing high-quality, textured AlScN thin films is challenging. Current approaches typically

Externí odkaz: http://arxiv.org/abs/2405.00210

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání