Zobrazeno 1 - 2 of 2 pro vyhledávání: '"Kenji Nakagawa, Kenji Nakagawa"'
1
Periodical
Pitch Dependence of Linewidth in the 0.25 µmPatterns Fabricated Using Positive Chemically Amplified Resist
Autor: Usujima, Akihiro, Wada, Hajime, Oikawa, Akira, Kaimoto, Yuko, Kenji Nakagawa, Kenji Nakagawa
Publikováno v: Japanese Journal of Applied Physics; December 1997, Vol. 36 Issue: 12 p7632-7632, 1p
Zobrazit plný text záznamu
2
Periodical
MASCOT: Mask Pattern Correction Tool Using Genetic Algorithm
Autor: Haruki, Tamae, Asai, Satoru, Kenji Nakagawa, Kenji Nakagawa, Isamu Hanyu, Isamu Hanyu
Publikováno v: Japanese Journal of Applied Physics; December 1996, Vol. 35 Issue: 12 p6374-6374, 1p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje