Zobrazeno 1 - 10
of 24
pro vyhledávání: '"Karzhavin, Y."'
Publikováno v:
13th Annual IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference. Advancing the Science & Technology of Semiconductor Manufacturing. ASMC 2002 (Cat. No.02CH37259); 2002, p218-222, 5p
Autor:
Karzhavin, Y.
Publikováno v:
2000 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference & Workshop. ASMC 2000 (Cat. No.00CH37072); 2000, p459-465, 7p
Autor:
Rao, V., Morgan, J., Hoesler, W., Barden, J., Karzhavin, Y., Van Holt, P., Petter, R., Ollendorf, H., Christensen, K., Ricks, D.
Publikováno v:
2000 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference & Workshop. ASMC 2000 (Cat. No.00CH37072); 2000, p340-346, 7p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Karzhavin, Y.
Publikováno v:
10th Annual IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference & Workshop ASMC 99 Proceedings (Cat No99CH36295); 1999, p239-245, 7p
Autor:
Karzhavin, Y., Wu, W.
Publikováno v:
1998 3rd International Symposium on Plasma Process-Induced Damage (Cat No98EX100); 1998, p80-83, 4p
Autor:
Karzhavin, Y., Wu, W.
Publikováno v:
1997 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference & Workshop ASMC 97 Proceedings; 1997, p234-244, 11p
Publikováno v:
2nd International Symposium on Plasma Process-Induced Damage; 1997, p143-146, 4p
Autor:
Karzhavin, Y., Wu, W.
Publikováno v:
IEEE/SEMI 1998 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference & Workshop (Cat No98CH36168); 1998, p320-326, 7p
Publikováno v:
Review of Scientific Instruments; Jan1995, Vol. 66 Issue 1, p369, 3p, 4 Graphs