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Publikováno v:
2014 20th International Conference on Ion Implantation Technology (IIT).
Wafer/pad temperatures are measured for various elastomer materials for control of wafer temperatures during high-power implantation to less than 40 C. Wafer/pad temperatures during and directly following implant are monitored by in-situ IR sensors a
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::94e734b5284c22ed9e514449d9190e7c
https://doi.org/10.1109/iit.2014.6939983
https://doi.org/10.1109/iit.2014.6939983
Publikováno v:
Nachhaltiges Innovationsmanagement ISBN: 9783663108634
Werden — wie hier in Bezug auf das Innovationsmanagement — Konzepte fur Klein- und Mittelunternehmen (KMU) aus okonomischer Sicht behandelt, so wird damit impliziert, dass die konzeptionelle Gestaltung dieser unternehmerischen Funktion signifikan
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f71afd887be43b6f80f54533bccc915e
https://doi.org/10.1007/978-3-663-10862-7_12
https://doi.org/10.1007/978-3-663-10862-7_12
Autor:
Heinz Strebel, Karl Zotter
Publikováno v:
DGOR / ÖGOR ISBN: 9783540566427
Die steigende Dynamik der Technologienentwicklung und die damit verbundene Verkurzung der Produktlebenszyklen verlangen eine effiziente Forschung und Entwicklung. Diesem Erfordernis stehen limitierte Finanzmittel gegenuber. Daraus folgt das bekannte
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3426cd799be6ed993935fb7cac927262
https://doi.org/10.1007/978-3-642-78196-4_62
https://doi.org/10.1007/978-3-642-78196-4_62