Zobrazeno 1 - 10
of 19
pro vyhledávání: '"Karasawa, Ryo"'
Autor:
Saito Daigo, Karasawa Ryo, Hashimoto Keisuke, Hirokazu Nishimaki, Tokunaga Hikaru, Endo Takafumi, Rikimaru Sakamoto
Publikováno v:
Journal of Photopolymer Science and Technology. 30:373-378
In advanced lithography technology, high planarity SOC (Spin-on-Carbon) materials which can planarize topography substrates are required in order to obtain enough process margin. We developed photo curing SOC (P-SOC) materials which can be cross-link
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::61ec7055adf8843a77bf4c7d3e9da1ef
https://doi.org/10.2494/photopolymer.30.373
https://doi.org/10.2494/photopolymer.30.373
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Takashi Matsumoto, Rikimaru Sakamoto, Yasunobu Someya, Tetsuya Shinjo, Karasawa Ryo, Hashimoto Keisuke, Hirokazu Nishimaki
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
For the mass production of the advanced semiconductor device, the multi-layer process has been used for the essential technique {photoresist/ silicon contained hard mask (Si-HM)/ spin-on-carbon-hardmask (SOC)}. Spin -on-Carbon material plays a very i
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ebc26269d9ae8e8e7e701eacb1d3478f
https://doi.org/10.1117/12.916128
https://doi.org/10.1117/12.916128
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Ito, Satoshi, Kuriyama, Hideyuki, Iino, Noriaki, Iguchi, Seitaro, Shimada, Hisaki, Ueno, Mitsuhiro, Narita, Ichiei, Nakano, Masaaki, Nishi, Shin-ichi, Karasawa, Ryo, Gejyo, Fumitake
Publikováno v:
Clinical & Experimental Nephrology; Dec2003, Vol. 7 Issue 4, p290-295, 6p
Autor:
Someya, Yasunobu, Shinjo, Tetsuya, Hashimoto, Keisuke, Nishimaki, Hirokazu, Karasawa, Ryo, Sakamoto, Rikimaru, Matsumoto, Takashi
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2012, Vol. 8325 Issue: 1 p83250U-83250U-6, 749257p
Autor:
Nishi, Shinichi, Ueno, Mitsuhiro, Suzuki, Satoru, Karasawa, Ryo, Hayashi, Hiroshi, In, Hian, Saitou, Tokao, Kon, Koukichi, Miura, Yoshiaki, Arakawa, Masaaki, Nishi, S, Ueno, M, Suzuki, S, Karasawa, R, Hayashi, H, In, H, Saitou, T, Kon, K, Miura, Y, Arakawa, M
Publikováno v:
American Journal of Nephrology; 1993, Vol. 13 Issue 4, p271-274, 4p
Autor:
SHIMADA, Hisaki, IMAI, Naofumi, MIYAKAWA, Yoshikazu, NAKAMARU, Tukasa, KARASAWA, Ryo, OSAWA, Yutaka, UENO, Mitsuhiro, NISHI, Shinichi, SUZUKI, Yasushi, ARAKAWA, Masaaki
Publikováno v:
Nephrology; Sep1997 Supplement 2, Vol. 3 Issue S2, ps701-s707, 7p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.