Zobrazeno 1 - 10
of 50
pro vyhledávání: '"Kang Ho-Kyu"'
Publikováno v:
In Surface & Coatings Technology 2001 136(1):157-161
Publikováno v:
In Journal of Crystal Growth 2001 233(4):673-680
Publikováno v:
In Journal of Crystal Growth 2001 231(1):107-114
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Journal of the Korean Physical Society. 59:461-465
In this study, a 3x-nm after development inspection (ADI) wafer with focus exposure matrix (FEM) was inspected with both an advanced optical system and an advanced electron beam inspection (EBI) system. We found that EBI system could capture many mor
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::75edeafe1c3631e56499bdb53665c4a4
https://doi.org/10.3938/jkps.59.461
https://doi.org/10.3938/jkps.59.461
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Lee Sang In, Cho Hag-Ju, Park Soon Oh, Lee Moon Yong, Kang Chang Seok, Hwang Cheol Seong, Kang Ho-Kyu
Publikováno v:
Extended Abstracts of the 1995 International Conference on Solid State Devices and Materials.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::deb9e23103a9dd723164384501796f34
https://doi.org/10.7567/ssdm.1995.pc-2-1
https://doi.org/10.7567/ssdm.1995.pc-2-1
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.