Výsledky vyhledávání - "Kamsah, Nazri bin"

Akademický článek

Scanning probe microscopy generated out-of-plane deformation maps exhibiting heterogeneous nanoscale deformation resulting from thermal cycling of Cu–polyimide damascene interconnects.

Autor: Gross, Todd S., Kamsah, Nazri bin, Tsukrov, Igor I.

Publikováno v: Journal of Materials Research; Dec2001, Vol. 16 Issue 12, p3560-3566, 7p

Zobrazit plný text záznamu