Zobrazeno 1 - 10
of 71
pro vyhledávání: '"Kamimuta, Yuuichi"'
Autor:
Koike, Masahiro, Ino, Tsunehiro, Kamimuta, Yuuichi, Koyama, Masato, Kamata, Yoshiki, Suzuki, Masamichi, Mitani, Yuichiro, Nishiyama, Akira
Publikováno v:
Phys. Rev. B 73, 125123 (2006)
The dielectric properties of noncrystalline hafnium silicon oxynitride (HfSiON) films with a variety of atomic compositions were investigated. The films were deposited by reactive sputtering of Hf and Si in an O, N, and Ar mixture ambient. The bondin
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/cond-mat/0601503
Autor:
Moriyama, Yoshihiko, Ikeda, Keiji, Kamimuta, Yuuichi, Oda, Minoru, Irisawa, Toshifumi, Nakamura, Yoshiaki, Sakai, Akira, Tezuka, Tsutomu
Publikováno v:
In Solid State Electronics May 2013 83:42-45
Publikováno v:
In Thin Solid Films 1 February 2012 520(8):3236-3239
Publikováno v:
In Solid State Electronics 2011 60(1):89-92
Autor:
Mizubayashi, Wataru, Akiyama, Koji, Wang, Wenwu, Ikeda, Minoru, Iwamoto, Kunihiko, Kamimuta, Yuuichi, Hirano, Akito, Ota, Hiroyuki, Nabatame, Toshihide, Toriumi, Akira
Publikováno v:
In Applied Surface Science 2008 254(19):6123-6126
Publikováno v:
In Applied Surface Science 2004 231:594-597
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.