Zobrazeno 1 - 10
of 185
pro vyhledávání: '"Kaloyeros, Alain E."'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
In Thin Solid Films 1 October 2020 711
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Arkles, Barry C, Kaloyeros, Alain E
A vapor deposition process is provided for the growth of as-deposited hydrogen-free silicon carbide (SiC) and SiC films including oxygen (SiC:O) thin films. For producing the SiC thin films, the process includes providing a silahydrocarbon precursor,
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::8abb77f755e3ee00a04ab6f303984442
Autor:
Arkles, Barry C., Kaloyeros, Alain E.
A method for deposition of a thin film onto a substrate is provided. The method includes providing a source precursor containing on or more of elements constituting the thin film, generating a transient species from the source precursor, and depositi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::24b9aaceac4488c312bceae9b07ad6a6
Autor:
Arkles, Barry, Kaloyeros, Alain E.
A thin film deposition process is provided. The process includes, in a single cycle, providing a precursor in the vapor phase with or without a carrier gas to a reaction zone containing a substrate, such that a monolayer of the precursor is adsorbed
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::14677e8388ac2977c73d694e8e347585
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.