Zobrazeno 1 - 1 of 1 pro vyhledávání: '"Kakuta, Kazuyuki"'
1
Conference
New double exposure technique using alternating phase-shifting mask with reversed phase.
Autor: Hotta, Shoji, Hayano, Katsuya, Kakuta, Kazuyuki, Hasegawa, Norio
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p545-554, 10p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje