Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"K.H. Muehlbacher"'
Autor:
J. Kaspar, G. Wald, K. Weber, K. Wiesinger, W. Rogge, A. Komposch, M. Leicht, J. Riss, B. Danzfuss, K.H. Muehlbacher, H. Geiger, T. Neidhart, B. Simmnacher, A. Stefaner, H. Pairitsch, G. Schagerl, T. Gross, H. Gruber, H. Peri, N. Dyroff, K. Sorschag, T. Gaertner, B. Mayer, H. Domes, T. Rupp, W. Wiebauer, J. Gatterbauer, S. Steinacher, A. Henoeckl, E. Trieblnig
Publikováno v:
2004 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (IEEE Cat. No.04CH37530).
Power processes are a challenge for 8-inch production especially in thermal processing. The temperatures exceed those used in DRAM and LOGIC by far and make a detailed knowledge of the critical process limits and maximum temperatures mandatory. We de
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2553d86f5884ed0008c85f4b743094af
https://doi.org/10.1109/asmc.2004.1309529
https://doi.org/10.1109/asmc.2004.1309529
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.