Zobrazeno 1 - 8
of 8
pro vyhledávání: '"K. Ricken"'
Publikováno v:
35th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2019).
The purpose of pellicles is to protect reticles from particle contamination, thus reducing the number of defects and increasing yield. In this paper we show how recent progress in pellicle technology has succeeded in solving the main challenges in im
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::fef1ed754321e9d9781d16be17b206e3
https://doi.org/10.1117/12.2535675
https://doi.org/10.1117/12.2535675
Autor:
J. van Dijk, A. Van Dijk, K. Ricken, John McNamara, Vidya Vaenkatesan, Paul Colsters, W. Liebregts, Rik Hoefnagels, J. Hageman, Guido Schiffelers, R. Pellens, L. de Winter, Rik Jonckheere, R. de Kruif, Natalia Davydova, Thijs Hollink, E. van Setten, R. Kottumakulal
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
EUV sources emit a broad band DUV Out-of-Band (OOB) light, in particular, in the wavelength range 100-400 nm. This can cause additional exposure of EUV resists made that are based on a ArF/KrF resist platform. This DUV light is partially suppressed w
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::144bf2c2d00f9035fd4580b36870516c
https://doi.org/10.1117/12.2195733
https://doi.org/10.1117/12.2195733
Autor:
K, Ricken
Publikováno v:
Naunyn-Schmiedeberg's archives of pharmacology.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=pmid________::1a7fdfa819a15a12bc28787389c857da
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/1143410
https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/1143410
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.