Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"K. Kreuer"'
Autor:
R.-U. Ballhorn, H. H. David, Ch. Eckes, K. Przybilla, Georg Pawlowski, Ralph R. Dammel, A. Fricke-Damm, K. Kreuer
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 13:73-78
The effect of process conditions on the performance of the chemically amplified radiation resist RAY-PF has been examined for both X-ray and E-beam application. It is found that mandatory atmospheric holding times for the catalytic reaction can be ma
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2f4df80d4d2b5e5499119b1cb9bcf5a4
https://doi.org/10.1016/0167-9317(91)90051-e
https://doi.org/10.1016/0167-9317(91)90051-e
Autor:
K Kreuer
Publikováno v:
Solid State Ionics. 168:vii
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e6f60b33253888f6b5ac25be8175f947
https://doi.org/10.1016/j.ssi.2004.04.005
https://doi.org/10.1016/j.ssi.2004.04.005
Autor:
K Kreuer
Publikováno v:
Solid State Ionics. 77:xv-xvi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c4abc0747864087ef2603b3f138fbaf0
https://doi.org/10.1016/0167-2738(95)90006-3
https://doi.org/10.1016/0167-2738(95)90006-3
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.