Zobrazeno 1 - 10
of 15
pro vyhledávání: '"K. Griesbach"'
Autor:
Thomas Gessner, A. Höffer, K. Stegemann, K. Griesbach, Andreas Bertz, H. Symanzik, G. Ebest, C. Steiniger
Publikováno v:
Sensors and Actuators A: Physical. 93:163-172
The monolithic integration of electronic circuits in standard CMOS technology with high aspect ratio micromechanical structures based on single-crystal silicon is presented. For this technology neither silicon on insulator (SOI) wafers nor wet proces
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e7ff25b550288986878fd84602147964
https://doi.org/10.1016/s0924-4247(01)00650-1
https://doi.org/10.1016/s0924-4247(01)00650-1
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
MRS Proceedings. 546
Long and narrow beams of single crystal silicon were made by surrounding them with trenches of different width followed by dry release etch. The beams were coated nonconformally during fabrication. Depending on the asymmetry of the films coated onto
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::aca467f381f054455ce6a8d9fc25335a
https://doi.org/10.1557/proc-546-33
https://doi.org/10.1557/proc-546-33
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Journal of Pediatric Oncology Nursing. 12:174-175
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ce5317da0b51ded22b68ddaf22d9d839
https://doi.org/10.1016/1043-4542(95)90151-5
https://doi.org/10.1016/1043-4542(95)90151-5
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.