Výsledky vyhledávání

Phase modulated ellipsometry used for composition control during MBE growth of CdHgTe: An analysis of instrumental factors and an assessment of the material produced

Autor: F. Grainger, I. K. Varga, G. Shen, P. Capper, P. J. Orders, M. A. Folkard, I. G. Gale, V. Kumar, K. Fueloop, D. Carr, R. H. Hartley, S. Barton, B. A. Johnson, D. Dutton, T. A. Steele

Publikováno v: Journal of Electronic Materials. 25:1521-1526

We have found phase modulated ellipsometry (PME) to be a sensitive analytical technique capable of providing real time information on composition, epilayer thickness, growth rate, interdiffusion and surface roughness. To fully exploit the benefits of

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1c73ff14750b83a9f50edfd368287db3
https://doi.org/10.1007/bf02655393

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání