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Elektronická kniha

Mikroelektronik 87 : Berichte der Informationstagung ME 87

Autor: G. Hoffmann, D. Holzmann, F. Jäger, K. Riedling, G. H. Schwuttke, K. A. Pandelisev, R. C. White, H. Holzmann, W. Kausel, G. Nanz, S. Selberherr, H. Pötzl, H. Leopold, R. Röhrer, G. Winkler, M. Thurner, K. Seiner, W. Tritremmel, G. Walther, Erwin Schoitsch, S. Hertl, G. Schaffar, K. Schmidt, H. Steinbrecher, F. Voggenberger, W. Windischhofer, R. Turba, J. Grabner, H. Aberl, F. Seifert, F. Buschbeck, K. Wallisch, Ch. Eichtinger, P. Wach, W. Bittinger, A. Kainz, M. Jestl, W. Beinstingl, K. Berthold, A. Köck, E. Gornik, G. Kloiber, F. Kreid, K. P. Schröcker, M. Schrödl, E. Brazda, G. Niedrist, K. Dietz, P. Fey, S. Frenkenberger, M. Furtner, B. Dejneka, A. Goiser, M. Sust, M. Kowatsch, Ch. Jorde, G. G. Thallinger, E. Mothwurf, E. Schubert, J. Steger, E. Trzeba, I. Awramow, R. Pucher, L. M. Auer, S. Schuy, H. Schima, L. Huber, A. Prodinger, H. Schmallegger, H. Thoma, H. Stöhr, W. Mayr, R. Steiner, O. Wiedenbauer, G. List, G. Wießpeiner, Th. Petsch, G. Doblhoff, D. Kirchner, O. Koudelka, A. Gierlinger, A. Ullrich, B. Braune, H. Horvat, U. Mayer, A. Gauby, A. Richter, K. R. Spie

Im Tagungsband zur Informationstagung'Mikroelektronik 87'werden die in Form von Kurzvorträgen und Posters dargebotenen Beiträge in übersichtlicher Form präsentiert und geben einen guten Überblick über den aktuellen Forschungs- und Wissensstand

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Electron trapping and chemical composition in radio frequency glow discharge a‐SiN:H

Autor: K. A. Pandelisev, R. B. Manglore, P. W. Pastel, Walter J. Varhue

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 9:3078-3083

The electron trapping phenomenon in a‐SiN:H films deposited by radio frequency (rf) glow discharge has been studied as a function of rf power and gas feed ratio. The chemical composition of the films was determined with Fourier transform infrared s

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d18426b237aebe6975ef873264712b11
https://doi.org/10.1116/1.577176

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Automatisierung des LEC-Kristallziehprozesses für GaAs mittels 'Intelligenter' Digitaler Prozessregelung

Autor: K. A. Pandelisev, G H Schwuttke, R. C. White, K. Riedling

Publikováno v: Mikroelektronik 87 ISBN: 9783211820230

Ein an der Arizona State University entwickeltes digitales Prozeskontrollsystem fur eine Kristallziehanlage fur Verbin dungshalbleiter vereint konventionelle deterministische Techniken mit heuristischen Methoden, bei denen das System autark uber den

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::50024e83b0dfa0ba3036e4b4f4e577b0
https://doi.org/10.1007/978-3-7091-8940-5_13

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Mikroelektronik 87

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::cf4ac792b55f5e74ef3ed31de18042ae
https://doi.org/10.1007/978-3-7091-8940-5

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The Effect of Reactor Pressure on the Growth of Glow Discharge a-SiN:H

Autor: Walter J. Varhue, K. A. Pandelisev

Publikováno v: MRS Proceedings. 165

The electrical resistivity and N content of a-SiN:H films can be controlled by varying the reactor pressure. This appears to be a result of the increased dissociation of the ammonia feed gas by the change in the electron energy spectrum. The effect o

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e78845954d71f272cd765e4d06216ba3
https://doi.org/10.1557/proc-165-29

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