Zobrazeno 1 - 10
of 44
pro vyhledávání: '"Käsmaier, R."'
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2002 61:351-355
Autor:
Hirscher, S. ∗, Kümmel, M., Kirch, O., Domke, W.-D., Wolter, A., Käsmaier, R., Buschbeck, H., Cekan, E., Chalupka, A., Chylik, A., Eder, S., Horner, C., Löschner, H., Nowak, R., Stengl, G., Windischbauer, T., Zeininger, M.
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2002 61:301-307
Autor:
Hirscher, S ∗, Kaesmaier, R, Domke, W.-D, Wolter, A, Löschner, H, Cekan, E, Horner, C, Zeininger, M, Ochsenhirt, J
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2001 57:517-524
Publikováno v:
Applied Physics A: Materials Science & Processing. 1996, Vol. 63 Issue 4, p305. 9p.
Autor:
Szmanda, C.S., Brainard, R.L., Mackevich, J.F., Awaji, A., Tanaka, T., Yamada, Y., Bohland, J., Tedesco, S., Dal'Zotto, B., Brünger, W.H., Torkler, M., Fallmann, W., Löschner, H., Käsmaier, R., Nealey, P.M., Pawloski, A.R.
A method for measuring acid generation efficiency is presented and utilized to determine the relative efficiency of four photoacid generators (PAGs) upon radiation with photon, electron, and ion beams. In this method, chemically amplified resists are
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______610::4a3cce690e34a78fd29ad0d1ad0aa756
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/195365
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/195365
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
AIP Conference Proceedings; Apr1995, Vol. 329 Issue 1, p447-450, 4p
Publikováno v:
AIP Conference Proceedings; Apr1995, Vol. 329 Issue 1, p451-454, 4p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.