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Autor:
D.M.G. Leite, Julio Cezar Faria, Argemiro Soares da Silva Sobrinho, Péricles Lopes SantAna, Newton A.S. Gomes, A. L. J. Pereira
Publikováno v:
Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo. 40
In this work, aluminum nitride (AlN) thin films deposited on the silicon (100) by RF magnetron-sputtering were analyzed. Nitrogen and argon plasmas were used in a vacuum system technique, being possible to obtain films oriented to the (oo2) crystallo
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e0cfa43d7c12461636f39ad6c246cf1c
https://doi.org/10.17563/rbav.v40.1198
https://doi.org/10.17563/rbav.v40.1198
Autor:
Júlio Cezar Faria da Silva
Publikováno v:
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações do ITAInstituto Tecnológico de AeronáuticaITA.
Os dispositivos SAW (SurfaceAcousticWaves) são amplamente empregados em diversas aplicações, tais como a utilização em sistemas de telecomunicações, desde celulares até diversos dispositivos eletrônicos sem fio (wireless), como ressonadores