Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Josh Glassberg"'
Autor:
M. Rendon, Craig Jasper, Allen Hoover, Aditya Agarwal, Heather Banisaukas, Kevin S. Jones, Ebrahim Andideh, Josh Glassberg
Publikováno v:
Applied Physics Letters. 75:3659-3661
The effect of laser thermal processing (LTP) on implantation-induced defect evolution and transient enhanced diffusion (TED) of boron was investigated. A 270-A-thick amorphous layer formed by 10 keV Si+ implantation was melted and regrown using a 20
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::bcb2291173b903d1430711f3e71a8ef0
https://doi.org/10.1063/1.125420
https://doi.org/10.1063/1.125420
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.