Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Joffre Bernard"'
Autor:
Zhanping Zhang, Joffre Bernard, Bruno La Fontaine, Thomas Wallow, Harry J. Levinson, Brian MacDonald, Marina V. Plat, Jeremias Romero
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Time-of-flight secondary-ion mass spectrometry (TOF-SIMS) imaging is demonstrated as a sensitive qualitative method for characterizing surface acid concentratio ns and accompanying chemical changes at resist surfaces. We show its utility in analyzing
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::808c7aeff198eff1c267a5891d6ed260
https://doi.org/10.1117/12.712338
https://doi.org/10.1117/12.712338
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.