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Autor:
Jens-Peter Heinß
Publikováno v:
Annual Technical Conference Proceedings.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::cab404f33fab39f1674cc83cb8c3cfa5
https://doi.org/10.14332/svc19.proc.0066
https://doi.org/10.14332/svc19.proc.0066
Publikováno v:
Plasma Processes and Polymers. 6:S29-S35
In the paper, thin molybdenum (Mo) layers produced by magnetron sputtering [state of the art in production for photovoltaic applications (PV)] are compared with those produced by high-rate electron beam (EB) deposition technology. Stainless steel and
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d7eedd28c520c4630212a3c6b3a2804b
https://doi.org/10.1002/ppap.200930203
https://doi.org/10.1002/ppap.200930203
Autor:
Jens‐Peter Heinß
Publikováno v:
Vakuum in Forschung und Praxis. 19:20-23
Mit der Technologie der plasmaaktivierten Elektronenstrahlverdampfung wurden wasserstofffreie amorphe Kohlenstoffschichten mit Raten von bis zu 100 μm/h abgeschieden. Die Ergebnisse der mechanischen und tribologischen Untersuchungen zeigen das Poten
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::08203cc495366e767eebf784fbe5f087
https://doi.org/10.1002/vipr.200700328
https://doi.org/10.1002/vipr.200700328