Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Jaz Bansel"'
Autor:
L. Rathbun, Yuli Vladimirsky, Olga Vladimirsky, Q. Leonard, Lei Yang, James W. Taylor, Srinivas B. Bollepalli, Richard C. Tiberio, Jaz Bansel, Mumit Khan, Franco Cerrina, Klaus Simon
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Availability of production-worthy x-ray masks is of great concern to the lithographic community in anticipation of insertion of x-ray lithography as the leading contender among the next generation lithographies.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8289491f50e34e4ef03a3a8fb8a83cb6
https://doi.org/10.1117/12.351147
https://doi.org/10.1117/12.351147
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.