Zobrazeno 1 - 10
of 13
pro vyhledávání: '"Jarnagin, Nathan"'
Autor:
Jarnagin, Nathan D.
Block copolymer (BCP) thin film patterns, generated using directed self-assembly (DSA) of diblock copolymers, have shown excellent promise as templates for semiconductor device manufacturing since they have the potential to produce feature pitches an
Externí odkaz:
http://hdl.handle.net/1853/50287
Selective Laser Ablation in Resists and Block Copolymers for High Resolution Lithographic Patterning
Autor:
Olynick, Deirdre L., Perera, Pradeep, Schwartzberg, Adam, Kulshreshta, Prashant, Dimas G. de Oteyza, Jarnagin, Nathan, Henderson, Cliff, Sun, Zhiwei, Gunkel, Ilja, Russell, Thomas, Budden, Matthias, Rangelow, Ivo W.
Publikováno v:
Journal of Photopolymer Science and Technology, vol 28, iss 5
ResearcherID
Olynick, DL; Perera, P; Schwartzberg, A; Kulshreshta, P; De Oteyza, DG; Jarnagin, N; et al.(2015). Selective laser ablation in resists and block copolymers for high resolution lithographic patterning. Journal of Photopolymer Science and Technology, 28(5), 663-668. doi: 10.2494/photopolymer.28.663. Lawrence Berkeley National Laboratory: Retrieved from: http://www.escholarship.org/uc/item/3tb0b4w8
ResearcherID
Olynick, DL; Perera, P; Schwartzberg, A; Kulshreshta, P; De Oteyza, DG; Jarnagin, N; et al.(2015). Selective laser ablation in resists and block copolymers for high resolution lithographic patterning. Journal of Photopolymer Science and Technology, 28(5), 663-668. doi: 10.2494/photopolymer.28.663. Lawrence Berkeley National Laboratory: Retrieved from: http://www.escholarship.org/uc/item/3tb0b4w8
� 2015 SPST. Previously, we demonstrated an all dry, selective laser ablation development in methyl acetoxy calixarene (MAC6) which produced high resolution (15-25 nm half-pitch), high aspect ratio features not achievable with wet development. I
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::2d5023a323fa5cd938db696ff3db04b2
https://escholarship.org/uc/item/3tb0b4w8
https://escholarship.org/uc/item/3tb0b4w8
Autor:
Lee, Cheng-Tsung, Wang, Mingxing, Jarnagin, Nathan D., Gonsalves, Kenneth E., Roberts, Jeanette M., Yueh, Wang, Henderson, Clifford L.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2007 Part 2, Issue 1, p65191E-65191E-9, 9p
Autor:
Wang, Mingxing, Jarnagin, Nathan D., Yueh, Wang, Roberts, Jeanette M., Tapia-Tapia, Melina, Batina, Nikola, Gonsalves, Kenneth E.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2007 Part 2, Issue 1, p65192C-65192C-6, 6p
Autor:
Lee, Cheng-Tsung, Jarnagin, Nathan D., Wang, Mingxing, Gonsalves, Kenneth E., Robert, Jeanette M., Yueh, Wang, Henderson, Clifford L.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2006 Part 2, Issue 1, p61532E-61532E-11, 11p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Cheng, Jing, Lawson, Richard A., Yeh, Wei-Ming, Jarnagin, Nathan D., Peters, Andrew, Tolbert, Laren M., Henderson, Clifford L.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2012, Vol. 8323 Issue: 1 p83232R-83232R-8, 749097p
Publikováno v:
2010 Conference on Lasers & Electro-Optics (CLEO) & Quantum Electronics & Laser Science Conference (QELS); 2010, p1-2, 2p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.