Modélisation multi-échelle du comblement par LPCVD de tranchées profondes pour la fabrication de nouveaux composants de puissance

Autor: Jaouen, Lionel, Roqueta, Fabrice, Scheid, Emmanuel, Vergnes, Hugues, Caussat, Brigitte

National audience; Plus que jamais, accroître simultanément le niveau d'intégration et les performances des composants microélectroniques présente un enjeu majeur pour les praticiens du domaine. Dans le cas des capacités, une solution efficace

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::934931f5d9508506b651a103356cc729
https://oatao.univ-toulouse.fr/2742/

Multiscale modelling of low-pressure CVD of Silicon based materials in deep submicronic trenches: a continuum featurescale model

Autor: Jaouen, Lionel, Roqueta, Fabrice, Scheid, Emmanuel, Vergnes, Hugues, Caussat, Brigitte

Publikováno v: Fifteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, EUROCVD-15
Fifteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, EUROCVD-15, Sep 2005, Bochum, Germany. pp.111-118

International audience; The ability to predict feature profile evolution across wafers during filling from equipment scale operating conditions is one important goal of processengineers for power component fabrication. We develop an integrated approa

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______4074::f0257b6a05e3b894cd61ba256f48af30
https://hal.science/hal-04037979/file/Jaouen_1288.pdf