Zobrazeno 1 - 10
of 18
pro vyhledávání: '"Jacob George C"'
Autor:
P.-Y. Friot, F. Salvatore, S. Valette, R. Yim, E. Gourvest, Jacob George C, C. Perrot, B. Qian, Nan-Rong Chiou, V. Balan
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 195:36-40
CMP is a complex process that combines the synergistic effect of a chemical action performed by the slurry and a mechanical one done by the pad and the abrasive particles of the slurry. The pad plays a key role in the CMP process as it contributes to
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::dda196c4e0c8453ed6d075f025c14af0
https://doi.org/10.1016/j.mee.2017.12.002
https://doi.org/10.1016/j.mee.2017.12.002
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Polymer Composites; Jun2005, Vol. 26 Issue 3, p293-305, 13p
Autor:
Jacob, George C., Starbuck, J. Michael, Fellers, John F., Simunovic, Srdan, Boeman, Raymond G.
Publikováno v:
Journal of Applied Polymer Science; May2005, Vol. 96 Issue 3, p899-904, 6p
Publikováno v:
Polymer Composites; Dec2003, Vol. 24 Issue 6, p706-715, 10p
Publikováno v:
Polymer Composites; Oct2003, Vol. 24 Issue 5, p608-626, 19p
Publikováno v:
Journal of Composite Materials; 2002, Vol. 36 Issue 7, p813, 38p
Autor:
Jacob, George C., Starbuck, J. Michael, Fellers, John F., Simunovic, Srdan, Boeman, Raymond G.
Publikováno v:
Journal of Applied Polymer Science; August 2006, Vol. 101 Issue: 3 p1477-1486, 10p
Autor:
Jacob, George C., Starbuck, James Michael, Fellers, John F., Simunovic, Srdan, Boeman, Raymond G.
Publikováno v:
Journal of Applied Polymer Science; April 2006, Vol. 100 Issue: 1 p695-701, 7p