Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"J.M.W. Laros"'
Publikováno v:
Sensors and Actuators A: Physical. 67:175-180
A low-temperature, IC-compatible, deposition process for SiC thin films with low mechanical stress and good passivating properties has been developed. SiC films with excellent etch resistance to various electrolytes have been deposited using a commer
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::01a5a726c2f4284ba7f7dcd2b827a74a
https://doi.org/10.1016/s0924-4247(97)01730-5
https://doi.org/10.1016/s0924-4247(97)01730-5
Autor:
Pasqualina M. Sarro, A.W. van Herwaarden, J.M.W. Laros, J.F. Creemer, Fabio Santagata, Jop Groeneweg, E. Iervolino
Publikováno v:
2010 IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS).
We have developed a novel micromachined Pirani vacuum gauge employing a tube-shaped 3-D structure with enhanced rigidity and very low footprint because it is completely buried inside the silicon substrate. A CMOS-compatible three masks process was us
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9da902dcba2004b9cf1406829cd2b7fc
https://doi.org/10.1109/memsys.2010.5442326
https://doi.org/10.1109/memsys.2010.5442326
Autor:
Patrick J. French, Pasqualina M. Sarro, Alvise Bagolini, J.M.W. Laros, C.R. de Boer, H.T.M. Pham, L. Pakula
Publikováno v:
TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Digest of Technical Papers (Cat. No.03TH8664).
In this paper we present a novel post-process surface micromachining module that uses a commercial PI2610 polyimide as a sacrificial layer and PECVD SiC or SiN as structural layers. No wet etching is required thus avoiding stiction problems often enc
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6c6609529275348ab3b4e576bc2716eb
https://doi.org/10.1109/sensor.2003.1215598
https://doi.org/10.1109/sensor.2003.1215598
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.