Zobrazeno 1 - 10
of 94
pro vyhledávání: '"J.L. Cecchi"'
This report provides a summary of results obtained in research supported by contract ''Fundamental Surface Reaction Mechanisms in Fluorocarbon Plasma-Based Processing'' (Contract No. DE-FG0200ER54608). In this program we advanced significantly the sc
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e7897c4fdc6ac6339288e44b184bed22
https://doi.org/10.2172/831085
https://doi.org/10.2172/831085
This report describes the results obtained during the two and a half years of work on the contract ''Fundamental Science of High-Density Fluorocarbon Plasmas.'' This program established critical elements of the scientific knowledge base of high-densi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1802d232b7e5cb5ccfc1a2ba1a459c66
https://doi.org/10.2172/810328
https://doi.org/10.2172/810328
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.