Zobrazeno 1 - 10
of 42
pro vyhledávání: '"J.A. Kramar"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Michael W. Cresswell, E.C. Teague, R.N. Ghoshtagore, Loren W. Linholm, R.A. Allen, H.A. Schafft, J.A. Kramar, S. Mayo
Publikováno v:
Proceedings International Conference on Microelectronic Test Structures.
Test results from high-quality electrical and physical measurements on the same cross-bridge resistor test structure with approximately vertical sidewalls have shown differences in linewidth as great as 90 nm for selected conductive films. These diff
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::43503041d172fb1a0206868cf9d05ed1
https://doi.org/10.1109/icmts.1995.513939
https://doi.org/10.1109/icmts.1995.513939
Publikováno v:
Microscopy and Microanalysis. 9:718-719
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7398c67d41b9635db7a6fb2998a84c08
https://doi.org/10.1017/s1431927603443596
https://doi.org/10.1017/s1431927603443596
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
E.C. Teague, J.S. Jun, Loren W. Linholm, Michael W. Cresswell, J.A. Kramar, J.S. Villarrubia, F.E. Scire, W.B. Penzes
It is shown how the needs for calibrating the positional accuracy of features of an X-ray mask membrane or an optical reticle can be addressed by application of a high-accuracy coordinate metrology system known as the Molecular Measuring Machine (M-C
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::bba9271bd7df9536011b8eef891f5e0b
https://zenodo.org/record/1271119
https://zenodo.org/record/1271119
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.