Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"J.A. Branebjerg"'
Publikováno v:
Journal of Microelectromechanical Systems. 13:452-464
A variety of different silicon structures has been fabricated and characterized mechanically to optimize the design of silicon ribbon cables used in neural probes and multichip packaging structures. Boron-doped 3-/spl mu/m-thick silicon beams were te
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2693b55e885909aec8f840ecfe295eaf
https://doi.org/10.1109/jmems.2004.828744
https://doi.org/10.1109/jmems.2004.828744
Publikováno v:
Scopus-Elsevier
A study was undertaken to fabricate flexible silicon substrates for high-density packaging. Two different fabrication methods were evaluated to obtain the best mechanical strength. To protect the structures from KOH etching an electroplated layer of
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::0d38dcbed1f66aee4d3ee893eb6da067
https://doi.org/10.1109/icsens.2002.1037161
https://doi.org/10.1109/icsens.2002.1037161
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.