Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"J.-L. Lauront"'
Publikováno v:
Proceedings of IEEE Sensors.
The benefits of using SOI (silicon on insulator) substrates for MEMS is now well known by industry; single crystalline silicon active layer leading to low stressed structures resistant to mechanical fatigue, low production cost for high volume driven
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9fa29c4947284611d0a7cfb7fa815138
https://doi.org/10.1109/icsens.2002.1037323
https://doi.org/10.1109/icsens.2002.1037323
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.