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Publikováno v:
Annales de Chimie Science des Matériaux. 23:733-742
Resume Des films a base de carbure de silicium a degre d'ordre variable ont ete elabores avec des vitesses de depot de 3 a 60 μm/h par depot chimique en phase vapeur assiste par un plasma microonde (2.45 GHz type magnetron et surfaguide) a partir de