Zobrazeno 1 - 10
of 10
pro vyhledávání: '"J. Nogawa"'
Autor:
Shuichi Saito, Y. Kawashima, S. Chikaki, R. Hayashi, N. Oda, T. Suzuki, T. Kubota, N. Nakamura, K. Tomioka, A Gawase, S. Nakao, E. Soda, J. Nogawa
Publikováno v:
IEEE Transactions on Electron Devices. 57:2821-2830
The total performance of low-k/Cu interconnects featuring short turnaround-time (TAT) silylated scalable porous silica (Po-SiO, k = 2.1) with high porosity (50%) is demonstrated. The TAT for the film formation process including silylation treatment i
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e5623a3e14177c02de365bf919da7d50
https://doi.org/10.1109/ted.2010.2066568
https://doi.org/10.1109/ted.2010.2066568
Autor:
K. Tomioka, E. Soda, Shuichi Saito, S. Chikaki, N. Oda, R. Hayashi, T. Kubota, S. Nakao, N. Nakamura, J. Nogawa, Y. Kawashima
Publikováno v:
2008 IEEE International Electron Devices Meeting.
A comprehensive study of low-k/Cu integration featuring short TAT (turnaround time) silylated scalable porous silica (Po-SiO, k=2.1) with high porosity (50%) is presented. The TAT for silylation is about 25% reduced by adding a promoter, causing rein
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2483d0cf9924327975e705a08aa0e460
https://doi.org/10.1109/iedm.2008.4796766
https://doi.org/10.1109/iedm.2008.4796766
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.