Zobrazeno 1 - 10
of 35
pro vyhledávání: '"J. Maltabes"'
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Step and Flash Imprint involves the field-by-field deposition and exposure of a low viscosity resist deposited by jetting technology onto the substrate. The patterned mask is lowered into the fluid which then quickly flows into the relief patterns in
Autor:
R. Schuster, T. Schedel, L. Grant, G. Hraschan, A. Charles, J. Maltabes, D. Ganz, S. Schmidt, S. Hornig, R. Otto, T. Metzdorf
Publikováno v:
1999 IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing Conference Proceedings (Cat No.99CH36314).
This paper discusses the performance of the initial 300 mm lithography tool set installed in a pilot line in Dresden, Germany. The product used for evaluating and debugging the tool set is a 0.25-micron ground rule 64 M DRAM. This was chosen for the
Autor:
T. Schedel, D. Ganz, A. Charles, R. Schuster, W. Koestler, J. Maltabes, S. Schmidt, K. Mautz, G. Hraschan, S. Hornig
Publikováno v:
Proceedings of ISSM2000. Ninth International Symposium on Semiconductor Manufacturing (IEEE Cat. No.00CH37130).
We study the performance of the current 300mm lithography tool set for sub 0.2 /spl mu/m processes. The results are discussed in terms of process capability and stability. It was determined that the non-linear errors which are much higher on 300 mm w
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.