Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"J. Loyo Prado"'
Autor:
Quoc Toan Le, Silvia Armini, Thierry Conard, Patrick Verdonck, Johannes Meersschaut, J. Loyo Prado, Mikhail Krishtab, M. R. Baklanov
Publikováno v:
ECS Journal of Solid State Science and Technology. 3:N3106-N3111
This paper explores the effects of different wet surface treatments on low dielectric constant (low-k) materials and the consequences for the growth behavior of self-assembled monolayers (SAMs) from 11-cyanoundecyltrichlorosilane precursor on these m
Autor:
Johan Meersschaut, Guinther Kellerman, S. Gomes dos Santos Filho, M. R. Baklanov, Hilde Tielens, Annelies Delabie, S. Van Elshocht, J. Swerts, Alexis Franquet, A Maheshwari, J. Loyo Prado, Thierry Conard, Akira Uedono, Danilo Roque Huanca, Thomas Witters, Sven Dewilde, Silvia Armini, Pascal Verdonck
Publikováno v:
ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2:N103-N109
Autor:
J. Loyo Prado, Michiel Blauw, Johan Meersschaut, Patrick Verdonck, Silvia Armini, M. R. Baklanov, Mikhail Krishtab, Yiting Sun, J. Swerts
Publikováno v:
ECS Solid State Letters. 1:P42-P44
Due to its excellent step coverage characteristics, atomic layer depositions (ALD) deposit their material not only on top of underlying surfaces but also into the pores of porous low-k films. In this study, the film characteristics caused by pre-trea
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.