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Automatisiertes Elektronenstrahl-Abgleichen von Dünnschichtwiderständen mit kontinuierlichem Durchlauf der Bauelemente durch die Bearbeitungskammer

Autor: M. Von Ardenne, J. Hennerberger, U. Heising, O. Thieme, S. Panzer

Publikováno v: IFAC Proceedings Volumes. 2:531-546

Auf der Grundlage vorausgegangener Gerate- und Verfahrensentwicklungen wurde ein spezieller Elektronenstrahlabgleich-Automat fur den technischen Einsatz entwickelt. Die Untersuchungen mit der beschriebenen Elektronenstrahl-Bearbeitungsanlage haben ge

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8c984c73dfd76dae91cce5a27fad975d
https://doi.org/10.1016/s1474-6670(17)68992-4

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