Zobrazeno 1 - 8
of 8
pro vyhledávání: '"J. C. Marusic"'
Autor:
L. Pain, J. Boussey, Sylvain David, A.-P. Mebiene-Engohang, M.-L Pourteau, S. Cêtre, S. Labau, J. C. Marusic
Publikováno v:
Conference on Photomask Technology
Conference on Photomask Technology, Sep 2014, Monterey, United States
Conference on Photomask Technology, Sep 2014, Monterey, United States. ⟨10.1117/12.2066152⟩
Conference on Photomask Technology, Sep 2014, Monterey, United States
Conference on Photomask Technology, Sep 2014, Monterey, United States. ⟨10.1117/12.2066152⟩
International audience; The development of multiple e-beam lithography equipment is seen as an alternative for next generation lithography. However, similarly to EUV lithography, this technology faces important challenges in controlling the contamina
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::03814563678ae5eb1e8170ce221ffe03
https://doi.org/10.1117/12.2066152
https://doi.org/10.1117/12.2066152
Autor:
M. Smits, Marie-Line Pourteau, Laurent Pain, Sylvain David, J. C. Marusic, J. Boussey, S. Labau, A.-P. Mebiene-Engohang, Takahiro Nakayama, Akira Miyake
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
In emerging high-vacuum multi e-beams exposure tools, the release of hydrocarbonaceous species (precursor) by resists outgassing is unavoidable and leads to premature contamination of optics projection systems. In this work, we present an experimenta
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b97eb17fee8c156d31a06c77c64b6100
https://doi.org/10.1117/12.2046350
https://doi.org/10.1117/12.2046350
Autor:
Sylvain David, J. Boussey, S. Labau, L. Pain, M.-L Pourteau, J. C. Marusic, A.-P. Mebiene-Engohang
International audience
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::87e1452d5fe8dcc0d2c173d888c4d6c4
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01798365
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01798365
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.