Zobrazeno 1 - 10
of 15
pro vyhledávání: '"J. Bronuzzi"'
Autor:
J. Bronuzzi, D. Bouvet, C. Charrier, F. Fournel, M. F. García, A. Mapelli, M. Moll, E. Rouchouze, J. M. Sallese
Publikováno v:
AIP Advances, Vol 9, Iss 2, Pp 025307-025307-9 (2019)
Wafer bonding is an established technology for the manufacturing of silicon-on-insulator (SOI) substrates, micro-electromechanical systems (MEMS) and microfluidic devices. Low temperature direct bonding techniques can be of particular interest for th
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/c83b57028a7d430085a16c3c883a9d26
In the field of detector development for High Energy Physics, the so-called Transient Current Technique (TCT) is used to characterize the electric field profile and the charge trapping inside silicon radiation detectors where particles or photons cre
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::beababb7a0530ff7e233b76e8b8514c1
http://cds.cern.ch/record/2634102
http://cds.cern.ch/record/2634102
Autor:
C. Charrier, A. Mapelli, Jean-Michel Sallese, Michael Moll, Marcos Fernández García, E. Rouchouze, J. Bronuzzi, F. Fournel, Didier Bouvet
Publikováno v:
AIP Advances, Vol 9, Iss 2, Pp 025307-025307-9 (2019)
Digital.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC
instname
AIP Advances
AIP Advances, 2019, 9 (2), pp.025307. ⟨10.1063/1.5079999⟩
Digital.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC
instname
AIP Advances
AIP Advances, 2019, 9 (2), pp.025307. ⟨10.1063/1.5079999⟩
International audience; Wafer bonding is an established technology for the manufacturing of silicon-on-insulator (SOI) substrates, microelectromechanical systems (MEMS) and microfluidic devices. Low temperature direct bonding techniques can be of par
Publikováno v:
Journal of Instrumentation. 11:C12080-C12080
A silicon wafer bonding technique has been recently proposed for the fabrication of monolithic silicon radiation detectors. This new process would enable direct bonding of a read-out electronic chip wafer on a highly resistive silicon substrate wafer
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
In the framework of monolithic silicon radiation detectors, a fabrication process based on a recently developed silicon wafer bonding technique at low temperature was proposed. Ideally, this new process would enable direct bonding of a read-out elect
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::b58d241bd9a6bd94c69f0a57338cfd8d
https://infoscience.epfl.ch/record/225234
https://infoscience.epfl.ch/record/225234
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.