Zobrazeno 1 - 9
of 9
pro vyhledávání: '"J.‐S. Jenq"'
Autor:
J.‐S. Jenq, R. A. Breun, James W. Taylor, A. Matthews, Gon-Ho Kim, Matthew Goeckner, J. A. Meyer
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 11:2543-2552
In this article, we examine the influence of contaminants on an electron cyclotron resonance discharge. For our discharge, the measured level of contaminant was highest just after startup, decreasing to a stable level after approximately 20 min.This
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d1ca7ad491342799bc9903516c6d1ed7
https://doi.org/10.1116/1.578605
https://doi.org/10.1116/1.578605
Autor:
J. A. Meyer, Noah Hershkowitz, J. W. Taylor, J.‐S. Jenq, S. Y. Perez‐Montero, H. L. Maynard, K. H. R. Kirmse, Amy E. Wendt
Publikováno v:
Applied Physics Letters. 64:1926-1928
Wafer temperature, etch rate, and etch uniformity measurements of SiO2 wafers were made to characterize the use of back side helium cooling with an electrostatic wafer holder in an electron cyclotron resonance etching tool. The etch rate was found to
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e079f7106b0e4bee3949f9c801df235d
https://doi.org/10.1063/1.111744
https://doi.org/10.1063/1.111744
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.