Zobrazeno 1 - 10
of 446
pro vyhledávání: '"J Lunze"'
Autor:
B Berger, D Eremin, M Oberberg, D Engel, C Wölfel, Q-Z Zhang, P Awakowicz, J Lunze, R P Brinkmann, J Schulze
Publikováno v:
Plasma Sources Science and Technology. 32:045009
In magnetized capacitively coupled radio-frequency (RF) discharges operated at low pressure the influence of the magnetic flux density on discharge properties has been studied recently both by experimental investigations and in simulations. It was fo
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::c06e41da89fcda6ec8e73f5d662390a9
https://doi.org/10.1088/1361-6595/acc480
https://doi.org/10.1088/1361-6595/acc480
Autor:
D Eremin, B Berger, D Engel, J Kallähn, K Köhn, D Krüger, L Xu, M Oberberg, C Wölfel, J Lunze, P Awakowicz, J Schulze, R P Brinkmann
Publikováno v:
Plasma Sources Science and Technology. 32:045008
The present work investigates electron transport and heating mechanisms using an (r, z) particle-in-cell simulation of a typical rf-driven axisymmetric magnetron discharge with a conducting target. Due to a strong geometric asymmetry and a blocking c
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::f431d5df187198326398714bdde5f6d2
https://doi.org/10.1088/1361-6595/acc47f
https://doi.org/10.1088/1361-6595/acc47f
Autor:
M. Zgorzelski, J. Lunze
Publikováno v:
European Journal of Control. 69:100737
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c327ba0d0818338d29c3c66ade5350d9
https://doi.org/10.1016/j.ejcon.2022.100737
https://doi.org/10.1016/j.ejcon.2022.100737
Autor:
J Roggendorf, B Berger, D Eremin, M Oberberg, D Engel, C Wölfel, Quan-Zhi Zhang, P Awakowicz, J Lunze, J Schulze
Publikováno v:
Plasma Sources Science and Technology. 31:065007
Reactive radio frequency (RF) sputter processes are highly relevant for thin film deposition, but there is no complete understanding of the fundamentals of their operation. While the Berg model describes the hysteresis regime considering the oxygen c
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3685f36da7bdab5afbf480367efa9980
https://doi.org/10.1088/1361-6595/ac7413
https://doi.org/10.1088/1361-6595/ac7413
Autor:
D. Engel, D. Eremin, M. Oberberg, B. Berger, C. Woelfel, J. Lunze, P. Awakowicz, J. Schulze, R. P. Brinkmann
Publikováno v:
2020 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS).
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7858c34e7c68c439f8376e83aeb4813e
https://doi.org/10.1109/icops37625.2020.9717847
https://doi.org/10.1109/icops37625.2020.9717847
Autor:
D. Eremin, B. Berger, D. Engel, M. Oberberg, C. Woelfel, J. Lunze, P. Awakowicz, J. Schulze, R. P. Brinkmann
Publikováno v:
2020 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS).
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7e5e2a2c3758f8cd78d29f2189f280d3
https://doi.org/10.1109/icops37625.2020.9717869
https://doi.org/10.1109/icops37625.2020.9717869
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.